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可实现高温法与化学法相结合的提纯工艺；
电阻炉采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术，能在2600℃条件下长时间稳定使用；
电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
采用特殊的高温红外测量技术，控温准确，误差小；
采用感应加热形式，最高温度可达3000℃，适用于高温法提纯；
适于工艺气氛：真空/N2/Ar/CH4/H2/工艺气氛。
| 卧式真空高温纯化炉 | |||||
| 参数\型号 | HPF-111115 | HPF-131320 | HPF-161635 | HPF-161670 | HPF-201840 |
| 工作区尺寸 W×H×L（mm） | 1100×1100×1500 | 1300×1300×2000 | 1600×1600×3500 | 1600×1600×7000 | 2000×1800×4000 |
| 最高温度（℃） | 2500 | ||||
| 温度均匀性（℃） | ±5~±20 | ||||
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | ||||
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | ||||
| 立式真空高温纯化炉 | |||||||
| 参数\型号 | VPF-0305 | VPF-0608 | VPF-0812 | VPF-1216 | VPF-1320 | VPF-1520 | VPF-161636 |
| 工作区尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1200×1600 | 1300×2000 | 1500×2000 | 1600×1600×3600 |
| 最高温度（℃） | 2500-3000 | 2500 | |||||
| 温度均匀性（℃） | ±5~±20 | ||||||
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | ||||||
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | ||||||
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
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